無塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:
⑴天花板系統 包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵空調系統 包括空氣艙、過濾器系統、風車等。
⑶隔墻板(Partitional wall) 包括窗戶、門。
⑷地板 包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具 包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構造 一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕;
B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性??;
D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高;

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